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      研磨墊

      金剛石研磨墊屬于固結磨料研磨技術范疇,通過獨特設計的墊子構造,采用金剛石微粉與樹脂螯合而成,可用于玻璃基板(微晶、石英、硼硅酸鹽、白板、藍寶石)、半導體晶圓(單晶硅、碳化硅)、壓電端子(鉭酸鋰)以及精密陶瓷(氧化鋁、氮化鋁、氮化硅)等硬脆材料的研磨減薄工序。


      研磨墊

      產品特點:

      (1)對加工工件加工區具有較高的選擇性,而對加工工件的材質沒有選擇性,已較少的材料去除量即可達到加工工件的全局平坦化效果;

      (2)加工效率高,功耗時間少;

      (3) 具有一定的彈性,在研磨壓力下磨料具有一定的退讓性,因此使用同樣粒度的磨料進行研磨時,固結磨料研磨加工后的工件表面質量較好;

      (4)磨料顆粒是固著在研磨墊上,具有較長的使用壽命,提高了磨料利用率,節約了成本、更加環保;

      (5)在固結磨料研磨墊的磨料層出現鈍化想象時,可僅通過修刃處理即可恢復固結磨料研磨墊的鋒利性,保持材料去除率的穩定一致;

      (6) 加工后工件易于清洗,能保證加工后工件的表面質量。

      應用領域:

      應用于微晶玻璃、石英玻璃、氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷等硬脆材料的研磨。


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